Направления научной работы кафедры физической электроники и нанотехнологий БГУ:

- физика взаимодействия заряженных частиц и излучений с кристаллами;
- физика ионно-лучевого легирования материалов;
- новые субмикронные технологии микроэлектроники;
- преломляющая и отражающая рентгеновская оптика;
- капиллярная ионная оптика;
- моделирование процессов переноса носителей в элементах субмикронной и наноэлектроники, электрофизических свойств и электрических характеристик субмикронных МОП-транзисторов, приборов наноэлектроники и резонансных туннельных систем;
- моделирование техпроцессов микро-, опто- наноэлектроники;
- ионно-лучевая литография и физика ионной имплантации полимеров;
- физические процессы в низкотемпературной плазме и разработка приборов контроля и управления вакуумно-плазменными технологиями.